Abscheidung und Charakterisierung von Plasmapolymerschichten auf Fluorkohlenstoff- und Siloxan-Basis

Jacoby, Bernd2008-02-252008-02-252008https://openscience.ub.uni-mainz.de/handle/20.500.12030/4034gerInC-1.0https://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/530 Physik530 PhysicsAbscheidung und Charakterisierung von Plasmapolymerschichten auf Fluorkohlenstoff- und Siloxan-BasisDissertationurn:nbn:de:hebis:77-15930